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三坐標(biāo)測量機(jī)的動態(tài)誤差分析實(shí)驗(yàn)及結(jié)果

福州眾印網(wǎng)    2006-8-4 10:54:00   來源:轉(zhuǎn)載


三坐標(biāo)測量機(jī)的靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)誤差主要由幾何誤差、構(gòu)件有限剛度造成的誤差、熱誤差3部分構(gòu)成。往往采取誤差修正的方法來減小靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)誤差。

  除了靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)誤差外,三坐標(biāo)測量機(jī)測量結(jié)果的精度還受到動態(tài)誤差的影響。測量機(jī)速度的加快使動態(tài)誤差對測量結(jié)果的影響更大。

  隨著三坐標(biāo)測量機(jī)的動態(tài)誤差對測量結(jié)果的影響越來越大,對三坐標(biāo)測量機(jī)動態(tài)誤差的研究也越來越受到人們的重視。動態(tài)誤差主要是由三坐標(biāo)測量機(jī)的結(jié)構(gòu)特性,如質(zhì)量的分布、構(gòu)件剛度、阻尼特性、控制及干擾力所決定的,由各構(gòu)件繞氣浮導(dǎo)軌連接處的偏轉(zhuǎn)和各運(yùn)動構(gòu)件本身的彎曲變形造成的。當(dāng)測量速度較低時,這一誤差很小,可以忽略不計。當(dāng)測量速度較高時,尤其在高速掃描測量中,這一誤差對測量結(jié)果影響較大。

圖1 負(fù)載變化過程

  三坐標(biāo)測量機(jī)運(yùn)行過程中的典型負(fù)載變化情況見圖1。

  在對動態(tài)誤差的實(shí)驗(yàn)研究中,往往測量各構(gòu)件繞氣浮導(dǎo)軌連接處的偏轉(zhuǎn)角誤差是比較容易的。各構(gòu)件的動態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差綜合起來,成為測頭位置處的動態(tài)位移誤差。為估計這一誤差的大小,Weekers等提出了一種運(yùn)動學(xué)模型。由于三坐標(biāo)測量機(jī)種類的多樣性,模型往往不具有普遍性。本文針對一種三坐標(biāo)測量機(jī)具體結(jié)構(gòu),進(jìn)行了動態(tài)偏轉(zhuǎn)角誤差的測量,并推導(dǎo)出由動態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差得到測頭處的動態(tài)位移誤差的方法。

  理論分析

  實(shí)驗(yàn)研究用測量機(jī)的結(jié)構(gòu)見圖2。橫梁帶動x-滑架及測頭沿y方向運(yùn)動,x-滑架在橫梁上沿

圖2 測量機(jī)結(jié)構(gòu)

  x向移動,安裝在滑架上的z軸帶動測頭沿z向移動。所有的導(dǎo)軌都是氣浮導(dǎo)軌。其中在橫梁的左右兩端分別有對稱的x向氣浮導(dǎo)軌。在高速運(yùn)動過程中,橫梁本身、x-滑架及z軸的分布質(zhì)量作用在橫梁上,帶來了附加的慣性力,使橫梁相對于氣浮導(dǎo)軌處產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),并使橫梁產(chǎn)生動態(tài)彎曲,所有這些偏轉(zhuǎn)都將造成動態(tài)誤差。

  橫梁的具體結(jié)構(gòu)見圖3。采用的坐標(biāo)軸系為機(jī)器坐標(biāo)系。A和B為氣浮導(dǎo)軌連接處。設(shè)A點(diǎn)到x-滑架之間的距離為a,B點(diǎn)到x-滑架之間的距離為b。由x-滑架和z軸的質(zhì)量帶來的集中慣性力為P,由橫梁的分布質(zhì)量帶來的均布慣性力載荷為q。

圖3 橫梁結(jié)構(gòu)

  在高速測量中,由于分布質(zhì)量產(chǎn)生的慣性力將使橫梁發(fā)生彎曲變形,而A、B的氣浮導(dǎo)軌也具有一定的剛度,使x-滑架相對于導(dǎo)軌也產(chǎn)生一定的偏轉(zhuǎn)。這樣,在A、B將有附加的力矩mA、mB作用,橫梁發(fā)生的是復(fù)雜變形。

  由于三坐標(biāo)測量機(jī)具體結(jié)構(gòu)和運(yùn)動的復(fù)雜性,在運(yùn)動過程中的慣性力的大小是很難確切知道的,所以要通過其它的途徑來解決這一問題。當(dāng)橫梁沿y軸運(yùn)動時,動態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差是繞z軸的偏轉(zhuǎn)角,可以用εz(y)來表示。從理論上可以證明,在氣浮導(dǎo)軌力矩剛度和橫梁彎曲剛度已知的情況下,只要測量出氣浮導(dǎo)軌滑架A、B兩點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)角誤差,就可以得到測頭位置處的動態(tài)位移誤差。

設(shè)在A、B點(diǎn)測得的動態(tài)偏轉(zhuǎn)角分別為εz(y)A、εz(y)B,則

(1)

設(shè)橫梁的彈性模量為E,慣性矩為I,則式(1)可以寫為

(2)

設(shè)氣浮導(dǎo)軌的力矩剛度為Kair,則

令Kbeam=EI,則式(2)可寫為

(3)

由式(3)可以解出

(4)

(5)

式中,λ=(1+a)/(b-a)。
設(shè)測頭位置處的動態(tài)位移誤差為δy(y),則

(6)

將式(6)中各分量分別求出,得

(7)

(8)

(9)

(10)

  從以上可以看出,當(dāng)a和b的值比較接近時,(a-b)→0。用式(7)~式(10)得到的結(jié)果將有較大的不準(zhǔn)確性。為解決這一問題,我們除測量出氣浮導(dǎo)軌A、B兩點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)角誤差εz(y)A、εz(y)B外,另外測量測頭位置處的偏轉(zhuǎn)角誤差εz(y)P。對于εz(y)P,有

(11)

式中,

  

  代入式(11)并考慮到mA=Kairεz(y)A和mB=Kairεz(y)B,有

(12)

將式(12)與式(3)聯(lián)立,即可解出P和q。測頭位置處的動態(tài)位移誤差為δy(y)可用與式(7)~式(10)類似的方法得出。

  實(shí)驗(yàn)過程及結(jié)果

  在實(shí)驗(yàn)中,往往測量各構(gòu)件繞氣浮導(dǎo)軌連接處的偏轉(zhuǎn)角誤差是比較容易而且可行的。各構(gòu)件的動態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差綜合起來,成為測頭位置處的動態(tài)位移誤差。測量各構(gòu)件繞氣浮導(dǎo)軌連接處的偏轉(zhuǎn)角誤差有很多方法,例如用激光干涉儀就可以準(zhǔn)確地得到測量結(jié)果。但是激光干涉儀的測量結(jié)果受環(huán)境參數(shù)影響較大,對使用環(huán)境要求較高。在實(shí)際中,往往希望用較簡單的方法來完成測量任務(wù)。為達(dá)到這一目的,我們在所研究的三坐標(biāo)測量機(jī)上用其它方法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),采用的儀器是微位移傳感器。實(shí)驗(yàn)中實(shí)際應(yīng)用的是電感測微儀。

圖4

  以測量A點(diǎn)繞z軸的偏轉(zhuǎn)角εz(y)A為例(見圖4),2個經(jīng)過標(biāo)定的電感測微儀測頭分別布置在1點(diǎn)和2點(diǎn)并垂直于y向?qū)к壝。設(shè)在1點(diǎn)的電感測微儀的測量值為d1,在2點(diǎn)的電感測微儀的測量值為d2,1、2兩點(diǎn)間沿x軸方向上的距離為L,則A點(diǎn)繞z軸的偏轉(zhuǎn)角εz(y)A

(13)

  其它各角度誤差可用類似的方法測出。εz(y)A測量結(jié)果見圖5a。此時,測量機(jī)的速度為100 mm/s,加速度為100 mm/s2。

  在測量過程中,我們發(fā)現(xiàn)導(dǎo)軌面的平面度對測量結(jié)果的準(zhǔn)確性有很大的影響。為了消除這一誤差因素,我們對A點(diǎn)繞z軸的偏轉(zhuǎn)角εz(y)A進(jìn)行了準(zhǔn)靜態(tài)測量。這時測量機(jī)的速度為10 mm/s,加速度為10 mm/s2。測量結(jié)果見圖5b。

圖5 測量結(jié)果

  對比圖5a和圖5b的結(jié)果,我們可以看出,起動和減速階段的慣性力造成了滑架的偏轉(zhuǎn)。這一偏轉(zhuǎn)量將導(dǎo)致測頭位置處的位移誤差。同樣,由于導(dǎo)軌面的平面度也可導(dǎo)致滑架的偏轉(zhuǎn),從而引起測頭位置處的位移誤差。在本實(shí)驗(yàn)中,由于導(dǎo)軌面的平面度導(dǎo)致滑架的最大偏轉(zhuǎn)為0.012 mrad,最大動態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差為0.018 mrad。

  氣浮導(dǎo)軌剛度測量

  可以看出,氣浮導(dǎo)軌仍然是剛度較差的環(huán)節(jié),其主要原因是氣膜剛度較差。在實(shí)際的研究過程中,為了了解氣浮導(dǎo)軌的剛度,往往采取直接測量的方法。目前,關(guān)于氣體軸承剛度的實(shí)驗(yàn)研究,仍停留在靜態(tài)測試階段。三坐標(biāo)測量機(jī)在實(shí)際應(yīng)用中,速度是有一定限制的。即使在高速運(yùn)動過程中(v=1000 mm/s),速度與音速相比仍然比較低,所以可以用靜態(tài)剛度來代替這里的動態(tài)剛度。

圖6 測量裝置  

(14)

  結(jié)論

  三坐標(biāo)測量機(jī)的動態(tài)誤差主要是由各構(gòu)件繞氣浮導(dǎo)軌連接處的偏轉(zhuǎn)和各運(yùn)動構(gòu)件本身的彎曲變形造成的。當(dāng)測量速度較低時,這一誤差往往很小,可以忽略不計。當(dāng)測量速度較高時,尤其在高速掃描測量中,這一誤差對測量結(jié)果影響較大。在對動態(tài)誤差的實(shí)驗(yàn)研究中,往往測量各構(gòu)件繞氣浮導(dǎo)軌連接處的偏轉(zhuǎn)角誤差是比較容易而且可行的。各構(gòu)件的動態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差綜合起來,成為測頭位置處的動態(tài)位移誤標(biāo)測量機(jī)坐構(gòu),得到動的具體結(jié)差。因此,要針對三態(tài)偏轉(zhuǎn)誤差和測頭處的動態(tài)位移誤差的轉(zhuǎn)換關(guān)系。運(yùn)用本文提出的方法,可以方便地估計三坐標(biāo)測量機(jī)動態(tài)誤差的大小。在三坐標(biāo)測量機(jī)的設(shè)計和測量方案的優(yōu)化中都有很大作用。



本文標(biāo)題:三坐標(biāo)測量機(jī)的動態(tài)誤差分析實(shí)驗(yàn)及結(jié)果
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